16 kwietnia, gdy dźwig powoli się podnosił, pierwszy domowy sprzęt do czyszczenia kwasem fluorowodorowym (HF Cleaner), opracowany i wyprodukowany niezależnie przez firmę Suzhou Jingzhou Equipment Technology Co., Ltd., został podniesiony na platformę dokującą po stronie klienta, a następnie wepchnięty do fabryka. , wprowadził się gładko.
Czyszczenie kwasem fluorowodorowym jest kluczowym ogniwem w procesie ekspozycji. Jego działanie czyszczące wpływa bezpośrednio na wydajność końcową, wydajność i stabilność konstrukcji urządzenia i jest powiązane z wydajnością produktu końcowego. Czyszczenie kwasem fluorowodorowym nie tylko usuwa zanieczyszczenia z powierzchni warstwy aktywnej, ale także pasywuje powierzchnię, zmniejszając w ten sposób zdolność adsorpcji zanieczyszczeń międzyfazowych. Wymagania dotyczące czystości powierzchni są bardzo rygorystyczne i teoretycznie nie dopuszczają obecności jakichkolwiek cząstek, jonów metali czy klejów organicznych. Przyłączone warstwy pary wodnej i tlenków wymagają płaskości powierzchni na poziomie atomowym, aby zapewnić niezawodność procesu obróbki końcowej.
Czas publikacji: 13 maja 2024 r